● 특 징
◎ 미량의 반도체재료 가스를 정확히 검지：독자개발한 열선형 반도체식 센서(특허)로 미량의
반도체 재료 가스를 정확히 검지할 뿐 아니라 장기적인 사용에도 감도가 떨어지지 아니함
◎ 소형으로 가볍고 편리한 조작성과 자동흡입식：좁은 장소, 어두운 곳에서도 탐지하기 쉽고,
초기 안정시간이 짧아 작업시간을 단축할 수 있으며 가볍고 휴대가 간편함.
◎ 액검사(비누액 등) 보다 측정이 쉽고 정확한 검사：미세한 가스 누설을 신속, 정확히 감지하여
액검사(비누액등)와 같이 숙련도나 현장의 조건에 무관하게 사용가능
◎ 램프, 부저 방식으로 확인：미세한 누설일때는 부저가 느리게, 누설이 많을 때는 단속음이
빠르게 연속음으로 알림
● 사 양
|
MODEL |
XP-703D |
|
대상가스 |
반도체재료가스(Arsine, Phosphine, Diborane 등) |
|
검지원리 |
열선형 반도체식 |
|
채집방식 |
자동 흡입식 |
|
검지가능누출량
(afm.cc/sec) |
Arsine Phosphine Diborane Silane Hydrogen
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
1.0×10-6 1.5×10-6 0.5×10-6 2.5×10-6 5×10-6
|
|
검지가능농도(ppm) |
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
|
응답시간 |
10초 |
|
사용온도범위 |
0~40℃ |
|
전원 |
DC 6V(A4건전지×4개) |
|
전지사용시간 |
약 3시간 |
|
크기·무게 |
68×155×32mm, 약 400g |
|
표준부속품 |
레자케이스, 드레인휠타, 휠터엘레멘트,
점검가스, 표준 부착물 |
|
Option |
이어폰, Ni-Cd Battery Charger | |
|
모델명
